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사업분야

CIMPlusNet

반도체 장비 간 통신 Protocol인 SECS-II를 사용자 정의를 통해 사용할 수 있도록 지원해주는 Driver, HSMS Message Builder, Simulator를 CIMPlusNet의 HSMS Engine은 Dll 형태로 개발되어 Microsoft Visual Studio .Net 개발 환경에 간단히 포함시킬 수 있으며, 편리한 User Interface와 뛰어난 데이터 처리 능력을 보임

  • CIMPlusNet HSMS Communication Engine

    DLL의 형태로 사용자의 개발 환경에 접목되어 다른 시스템과의 HSMS 통신을 직접수행 사용자와의 인터페이스는 Event, Method를 이용하며 CIMPlusNet Message Builder에서 제공하는 CHSMSEngine.cs도 참조

  • CIMPlusNet Message Builder

    CIMPlus HSMS Communication Engine에서 참조하여 SECS 통신을 수행할 Library를 작성하는 Tool

    TreeView 형태의 직관적인 인터페이스와 Drag & Drop 등의 편리한 편집 기능으로 사용자의 작업 시간을 단축

  • CIMPlusNet HSMS Simulator

    CIMPlus HSMS Communication Engine을 이용하여 작성된 Application 간단히 SECS 메시지를 편집하여 송/수신하고 그 내역을 화면에서 참조 또는 로그 파일로 기록할 수 있는 기능을 가진 Tool

    사용자는 Application을 개발하면서 이 Tool을 사용하여 수시로 Simulation을 해 볼 수 있으므로 개발이 용이해지고 작업 시간 단축

SECS ( SEMI Equipment Communications Standard )

세계반도체협회(SEMI, Semiconductor Equipment and Materials International)에서 정한 반도체 장비 간 통신 프로토콜에 대한 표준 및 장비의 동작과 통신 시나리오에 대한 표준

  • SECS-I

    SEMI E4-91 SEMI Equipment Communications Standard I Message Transfer

    SECS-II 데이터를 RS-232C 통신을 통해 전송하기 위한 규약

  • HSMS

    SEMI E37 High-speed SECS Message Services Generic Services

    SECS-II 데이터를 Ethernet을 통해 전송하기 위한 규약

  • SECS-II

    SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content

    실제 통신을 통해 전달되는 데이터에 대한 규약

    Stream/Function 구조