반도체 장비 간 통신 Protocol인 SECS-II를 사용자 정의를 통해 사용할 수 있도록 지원해주는 Driver, HSMS Message Builder, Simulator를 CIMPlusNet의 HSMS Engine은 Dll 형태로 개발되어 Microsoft Visual Studio .Net 개발 환경에 간단히 포함시킬 수 있으며, 편리한 User Interface와 뛰어난 데이터 처리 능력을 보임
DLL의 형태로 사용자의 개발 환경에 접목되어 다른 시스템과의 HSMS 통신을 직접수행 사용자와의 인터페이스는 Event, Method를 이용하며 CIMPlusNet Message Builder에서 제공하는 CHSMSEngine.cs도 참조
CIMPlus HSMS Communication Engine에서 참조하여 SECS 통신을 수행할 Library를 작성하는 Tool
TreeView 형태의 직관적인 인터페이스와 Drag & Drop 등의 편리한 편집 기능으로 사용자의 작업 시간을 단축
CIMPlus HSMS Communication Engine을 이용하여 작성된 Application 간단히 SECS 메시지를 편집하여 송/수신하고 그 내역을 화면에서 참조 또는 로그 파일로 기록할 수 있는 기능을 가진 Tool
사용자는 Application을 개발하면서 이 Tool을 사용하여 수시로 Simulation을 해 볼 수 있으므로 개발이 용이해지고 작업 시간 단축
세계반도체협회(SEMI, Semiconductor Equipment and Materials International)에서 정한 반도체 장비 간 통신 프로토콜에 대한 표준 및 장비의 동작과 통신 시나리오에 대한 표준
SEMI E4-91 SEMI Equipment Communications Standard I Message Transfer
SECS-II 데이터를 RS-232C 통신을 통해 전송하기 위한 규약
SEMI E37 High-speed SECS Message Services Generic Services
SECS-II 데이터를 Ethernet을 통해 전송하기 위한 규약
SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content
실제 통신을 통해 전달되는 데이터에 대한 규약
Stream/Function 구조
